SEM(Scanning Electron Microscope) ile İletken Olmayan Örnekler Nasıl İncelenir?

SEM(Scanning Electron Microscope) Nedir?

Taramalı Elektron Mikroskobu olarak Türkçe'ye çevrilen SEM yüzey yapıları hakkında yüksek çözünürlüklü görüntüler elde etmek için kullanılan bir mikroskop türüdür. Elektron demetini bir örneğin yüzeyine taramalı olarak yönlendirerek çalışır ve bu, yüzeyden gelen sinyalleri toplayarak yüksek çözünürlüklü görüntüler oluşturur.

Taramalı Elektron Mikroskobu kullanılarak yapılan incelemelerde, özellikle iletken olmayan örneklerin yüzeyinde elektron birikimi ve buna bağlı olarak görüntü artefaktlarının önlenmesi için ince film kaplamalar, düşük vakum modları, düşük voltajlı SEM, iletken polimer kaplamalar ve Çevresel SEM(ESEM) kullanılabilir. Bunlar arasında yaygın kullanıma sahip olan ince film kaplamalardır.

İnce Film Kaplamaların Başlıca Özellikleri ve Uygulama Süreci:

1. Kaplama Metaryali: En yaygın kullanılan kaplama materyalleri altın(Au), paladyum(Pd) ve karbondur(C). Seçilen materyal, örneğin yapısına, incelenecek özelliklere ve kullanılan analiz tekniğine bağlı olarak değişir.

2. Kaplama Cihazı: Kaplama işlemi, genellikle magnetron kaplama sistemi(sputter coater) veya karbon kaplama cihazı kullanılarak gerçekleştirilir. Bu cihazlar, örnek üzerine ultra ince ve eşit bir kaplama tabakası oluşturmak için tasarlanmıştır. Vaccoat tarafından geliştirilip üretilen ve Türkiye'de tarafımızca satılan laboratuvar tipi masaüstü kaplama sistemlerini görüntülemek için ürün sayfamızı ziyaret edebilirsiniz.

3. Analiz Etkisi: Kaplama, özellikle enerji dağılım spektroskopisi (EDS) gibi element analizleri için kullanılıyorsa dikkatle seçilmelidir. Örneğin, altın kaplama kullanıyorsanız EDS spektrumunda altın pikleri görmeyi bekleyebilirsiniz. Bu, analiz sonuçlarınızı yorumlarken göz önünde bulundurulmalıdır.

4. Kaplama Öncesi ve Sonrası Dikkat Edilecekler: Kaplama işlemi öncesi, örneğin temiz ve kuru olması gerekmektedir. Kaplama sonrası, örnek direkt olarak SEM görüntülemesi için kullanılabilir.

5. İnce Film Kaplamalarının Dezavantajları: Kaplama süreci, özellikle hassas ve kolayca değişebilir örnekler için zararlı olabilir. Ayrıca kaplama, yüzey detaylarını maskeleyebilir ve bazı özellikleri gözden kaçabilir.

Alternatif Yöntemler

Eğer örnek kaplama için uygun değilse veya kaplamanın etkileri istenmiyorsa, düşük vakumlu SEM modları, düşük voltajlı tarama veya çevresel SEM(ESEM) gibi alternatif yöntemler kullanılabilir.

İnce film kaplama, özellikle iletken olmayan materyallerin SEM ile incelenmesi sırasında yük birikimini önlemek için etkin bir yöntemdir. Kaplama cihazları firmamızdan tedarik edilebilir. Fiyat teklifi almak için iletişim sayfamızdan formu doldurup iletişime geçebilirsiniz.